Qual é o melhor material a ser usado para o anel de retenção do CMP

Qual é o melhor material a ser usado para o anel de retenção do CMP?

As bolachas de silício são as bolachas de silício usadas na produção de circuitos de semicondutores de silício e, em seguida, processo de polimento mecânico no processo de produção de bolachas de silício e é um link muito importante, geralmente ouvimos alguns centímetros de bolachas, que representam maior o diâmetro do do do término do Wafer de silício, melhor o desempenho dessa bolacha de silício, mais forte a personificação da força técnica; portanto, no processo de produção das bolachas, a taxa de rendimento se tornou uma condição muito importante, que para os requisitos de polimento da superfície da wafer também estão aumentando, cmp O processo de polimento também está se tornando cada vez mais sofisticado, então o processo de polimento para usar o anel fixo maduro de cmp maduro final

Durante o processo de polimento da bolacha, o anel de retenção do CMP deve segurar a bolacha durante o processo de polimento. Durante o processo de polimento, diferentes produtos químicos são adicionados e esses líquidos podem corroer os componentes polidos, portanto, é necessário que o anel de retenção do CMP seja capaz de suportar certas cargas mecânicas, boa flexibilidade e resistência à corrosão e outras características.

Para resumir, para fabricar anéis de retenção de CMP, precisamos que os processadores tenham precisão de processamento muito alta e estabilidade dimensional para reduzir o arranhão das bolachas posteriormente.

Normalmente, escolhemos dois plásticos especiais de engenharia: PPS e Peek para processar e produzir anéis de retenção de CMP.

O material PPS é caracterizado por alta resistência ao desgaste, boa resistência química e resistência ao solvente, bem como boas propriedades de atrito, tipo de material limpo de alto sol, não contaminará a bolacha, em comparação com o anel fixo cmp de espona, o custo do anel fixo PPS cmp é Lower e formou uma cadeia industrial completa, com a família destaca o desempenho do custo.

O anel de retenção do CMP do PEEK tem um coeficiente de atrito mais alto, em comparação com o desempenho do atrito do anel de retenção do PPS CMP é mais excelente, tem uma resistência química mais abrangente e estável, uma faixa mais ampla de alta resistência à temperatura, de modo que o anel de retenção do CMP espalhado no longo O ambiente de usinagem de alta resistência a termo é mais estável, em tempo relativo, nas mesmas condições de trabalho, mais longas, mas o custo também será maior em comparação com alguns.