Espreita para o semicondutor tecapaek®cmp natural

O Tecapeek CMP Natural foi desenvolvido especificamente para aplicação de anel de retenção de CMP e faz parte do portfólio da Ensinger para a indústria de semicondutores. É um material não preenchido de plástico de plástico (polietherethertotona) com base no polímero de peek victrex®. Quando usinada para os anéis de retenção de cmp, as propriedades especiais do material de peek permitem o uso de ranhura menos interno (também conhecido como ataque lateral) em comparação com o plástico padrão, que reduz significativamente Riscos de defeitos de wafer. Entre os materiais de retenção de retenção do CMP, o Tecapeek CMP oferece as melhores características de abrasão e atrito, propriedades mecânicas, estabilidade dimensional e resistência à temperatura, permitindo assim a vida útil do anel mais longa.

Como a resistência ao desgaste do plástico Peek é três vezes melhor que a do PPS, e o Tecapeek CMP Natural possui 20 % melhor resistência ao desgaste do que os produtos concorrentes, existe uma clara vantagem em termos de vida útil.

Geralmente, os consumíveis da CMP são alterados em múltiplos de um com a vida mais curta, normalmente o bloco. Consequentemente, o tempo de substituição do anel é frequentemente alinhado ao bloco de “Stop Pit”. Por exemplo, sob certas condições, um anel PPS pode durar cerca de 4 trocas de blocos, um anel de espiada padrão pode durar até 12 alterações de blocos e um anel CMP do Tecapeek pode durar até 14 alterações. Isso tem um impacto favorável significativo na taxa de câmbio do anel e no custo total de propriedade.

Além da otimização das propriedades do material, a Ensinger também desenvolveu tamanhos de tubos especiais que se encaixam melhor em tamanhos típicos dos anéis de retenção de CMP, permitem assim resíduos e custos reduzidos durante a usinagem. Por exemplo, o uso do tamanho do tubo com OD 350 mm / ID 300 mm permite até 27% de economia de custo de material em comparação com o OD 360 / ID convencional 290 mm.

Como em todos os graus de semicondutores de Ensinger, os tubos naturais do CMP do Tecapeek são processados ​​em conformidade com os requisitos de cópia de semicondutores exatamente (também conhecidos como cópia exata ou CE) e controles de qualidade mais rigorosos em comparação com as notas industriais de Peek. Controles e medidas de qualidade adicionais permitem riscos reduzidos de impurezas e tensão interna aprimorada e estabilidade dimensional em comparação com o plástico industrial padrão. Podemos confirmar que o Tecapeek CMP Natural atende às limitações impostas pela Diretiva ROHS 2011/65/UE restrição de substâncias perigosas em equipamentos elétricos e também pode fornecer declarações adicionais de conformidade mediante solicitação.

Para anéis de retenção de CMP que requerem menor custo de material e onde uma vida útil mais baixa pode ser utilizada, o Ensinger oferece uma versão PPS - Tecatron CMP Natural, também com um perfil de propriedade especial alinhado aos anéis de retenção do CMP. Para outras aplicações de semicondutores que não exigem esse perfil de propriedade especial, a Ensinger oferece uma versão de Peek de grau de semicondutores mais econômica como placa, haste e tubos-tecapeek sx natural.

Fatos

Designação química

Peek (polietherethertone)

Cor

bege

Densidade

1,31 g/cm3

PRINCIPAIS CARACTERÍSTICAS

boa temperatura de deflexão de calor

boa máquinabilidade

retardador de chama inerente

hidrólise e resistente a vapor superaquecido

alta tenacidade

resistência contra radiação de alta energia

Boas propriedades deslizantes e desgaste

alta resistência de fluência

Indústrias -alvo

Tecnologia de semicondutores

Folha de dados técnicos naturais do Tecapeek®CMP