A família Vespel® CR fornece excelente resistência química em refinarias ou processamento químico. Eles oferecem resistência de alto teor de peças para vedações, capacidade de secar para anéis de desgaste para bombas e fácil máquinabilidade para peças de tolerância a bola, como assentos de válvula de esferas.
As formas DuPont ™ Vespel® CR-6110 são os mais recentes fluoropolímero termoplástico cheio de fibras de carbono que demonstraram excelente desempenho em condições químicas / plasmáticas úmidas agressivas e temperaturas elevadas. Os clientes relatam ciclos de manutenção preventiva aprimorados, mudando para o VESPEL® CR-6110 nas operações de limpeza de wafer e resistindo. Também demonstrou uma boa resistência ao ultravioleta (UV) em aplicações de exibição de painel plano. Em aplicações de plasma seco, o Vespel® CR-6110 foi usado como isolador e rolamento térmicos.
Propriedades -chave
Resistência de fluência aprimorada vs. PFA não preenchido
Excelente resistência química
Se destaca em condições químicas e plasmáticas agressivas e semicondutoras
Alto módulo
Alta resistência térmica
Limitações
Algumas propriedades mecânicas são mais baixas na direção z (entre em contato conosco para obter valores completos)
As resinas PFA fluoropolímero são atacadas por certos complexos halogenados contendo fluorina. Isso inclui trifluoreto de cloro, trifluoreto de bromo, pentafluoreto de iodo e o próprio fluorina.
Aplicações
Aplicações de fabricação de semicondutores e eletrônicos
Componentes da câmara de plasma
Componentes químicos úmidos
Limpeza de bolas e resistir aos componentes de remoção
Componentes de fabricação de exibição de painel plano
Aplicações de plasma seco
Isoladores térmicos
Propriedades típicas de Vespel ® CR-6110 PFA Reforçado com fibra de carbono
Description
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Value
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Material Type
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Semi-Crystalline Thermoplastic Fluoropolymer
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Chemical Name
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PFA Perfluoroalkoxy
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Trade Name
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DuPont™ Vespel® CR-6110
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Additives
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Carbon
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Color
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Black
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Manufacturer
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DuPont
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PHYSICAL
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Property
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Test
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Unit of Measure
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Value
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Density
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ASTM D792
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g/cm³
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2.06
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ASTM D792
|
lb/in³
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0.074
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Water Absorption, 24 hrs, Immersion
|
ASTM D570
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% by wt.
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0.01
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Water Absorption, Saturation, Immersion
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ASTM D570
|
% by wt.
|
0.01
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MECHANICAL
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Property
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Test
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Unit of Measure
|
Value
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Tensile Strength
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ASTM D638
|
psi (x-y direction only)
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18000
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Tensile Modulus
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ASTM D638
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psi (x-y direction only)
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1050000
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Tensile Elongation at Break
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ASTM D638
|
% (x-y direction only)
|
1.4
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Flexural Strength
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ASTM D790
|
psi (x-y direction only)
|
26000
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Flexural Modulus
|
ASTM D790
|
psi (x-y direction only)
|
1754000
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Compressive Strength
|
ASTM D695
|
psi (z direction only)
|
15000
|
Compressive Modulus
|
ASTM D695
|
psi (z direction only)
|
1457000
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Hardness
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Micro Vickers ASTM E-384 Test force: 1kgf
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(x-y direction only)
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11
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THERMAL
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Property
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Test
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Unit of Measure
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Value
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Coefficient of Linear Thermal Expansion
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ASTM D696
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x 10-5 in./in./°F (x-y direction only)
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3
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Heat Deflection Temp
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ASTM D648
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°C at 264 psi (x-y direction only)
|
318
|
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ASTM D648
|
°F at 264 psi (x-y direction only)
|
606
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Max Continuous Operating Temp
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°C
|
287
|
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°F
|
550
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Minimum Operating Temp
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°C
|
-196
|
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|
°F
|
-320
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Flammability Rating
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UL94
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NA
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V-0
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ELECTRICAL
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Property
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Test
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Unit of Measure
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Value
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Surface Resistivity
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JIS K7194
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ohm/square (x-y direction only)
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10^-1
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