Semitron® MPR 1000 PAI

As formas semitron® MPR 1000 possuem excelente resistência ao calor e baixas taxas de desgosto e erosão nas câmaras plasmáticas. Esse material de alta pureza com baixo teor iônico é frequentemente escolhido para aplicações de câmara de vácuo nas sub -segmentações de implantes de gravação, DCV e implante de íons na indústria de semicondutores e eletrônicos.

O SEMITRON® MPR 1000 mostra o aumento da vida útil dos materiais tradicionais, por exemplo, até 25x sobre poliimida no ozônio em alguns casos. Devido à sua longevidade, é especificado contra materiais tradicionais usados ​​em aplicações de câmara de vácuo, como quartzo, cerâmica, poliimidas e outros plásticos de engenharia.

Propriedades do material

Baixo conteúdo iônico e baixa saída

Excelente resistência ao calor

Taxa minimizada de erosão em câmaras plasmáticas

Resistência ideal para chips, durabilidade e usinabilidade

Projetado especificamente para exigir aplicações de câmara

Aplicações: Câmaras de vácuo à base de plasma, anéis de grampo, anéis de vala, parafusos, pinos, chuveiros, anéis de foco, isoladores, almofadas a vácuo

SOBRE SEMITRON ®

Os produtos semicondutores semitron® foram desenvolvidos para ajudar designers e usuários a otimizar o desempenho dos equipamentos de fabricação de dispositivos. Além da fabricação de dispositivos, muitos desses materiais são ideais para ambientes específicos, onde são necessárias resistências de desgaste, resistência química e gerenciamento de eletricidade estática.

Dois grupos de produtos foram desenvolvidos. Um, adequado para aplicações de manuseio e teste de dispositivos e um segundo para aplicações de CMP, plasma e câmara de gravação de próxima geração.

As notas semitrons estão disponíveis na folha, haste (algumas formulações) e peças usinadas.