O que é o anel de retentor CMP ou o anel de retenção de CMP, anel da guia de wafer etc., o anel de retentor CMP está instalado na parte inferior da cabeça de moagem para fixar a bolacha e acionar a bolacha para girar com a cabeça de moagem para alcançar o efeito de moagem e polimento no superfície da bolacha. É uma parte importante do equipamento CMP.PC CNC MANICINADO PARTE
O polimento mecânico químico (CMP) é um dos principais processos na fabricação de semicondutores atualmente. Nos últimos anos, à medida que o tamanho da wafer se tornou maior, o tamanho do chip se tornou menor e a fiação do circuito se tornou mais fina. Para obter a espessura ideal do filme de revestimento e os requisitos de revestimento em um plano ideal durante o processo de fabricação, os requisitos de precisão dos componentes periféricos no processo CMP estão se tornando cada vez mais rigorosos.
No processo CMP, o anel de retentor CMP estará em contato com vários materiais de pasta, e o anel de retentor CMP deve ser resistente à corrosão e desgaste químicos. Também precisa suportar cargas mecânicas e deve ter uma boa elasticidade, resistência e força. Para aumentar o rendimento sem danificar a bolacha, o anel de retentor CMP também requer precisão dimensional extremamente alta.
O polimento mecânico químico (CMP) é um processo -chave na fabricação de semicondutores. À medida que o tamanho da bolacha se tornou maior, o tamanho do chip se tornou menor e a fiação do circuito se tornou mais fina, os requisitos de precisão dos componentes periféricos no processo CMP, como o anel de retentor CMP, estão se tornando cada vez mais rigorosos. Peça usinada
Anel de retentor CMP
Os recursos do produto do anel de retentor CMP produzido por nossa empresa:
1. Matérias-primas: usamos materiais plásticos de engenharia de alta qualidade, incluindo PPS, Peek e Peek, materiais temperados e temperados, para garantir alta resistência à corrosão química e resistência ao desgaste.
2. Processo de fabricação: seguimos os padrões de gerenciamento de planicidade de produtos extremamente altos, que ajudam a reduzir arranhões desnecessários de corpo estranho causados pelo anel de retentor CMP e fornecem um melhor valor de wafer TTV em comparação aos produtos de outros fabricantes.
3. Processo de limpeza: usamos excelente tecnologia de tratamento de superfície e métodos de limpeza para reduzir os arranhões desnecessários do corpo estranho causados pelo anel de retentor do CMP.
4. Vantagem de preço: confiando na forte capacidade de fornecimento de matérias-primas da China e na produção em larga escala, oferecemos preços mais competitivos em comparação com nossos concorrentes.
5. Pesquisa e Desenvolvimento Conjunto: Trabalhamos em estreita colaboração com nossos clientes para melhorar nossos produtos e atender aos vários requisitos de processo.
6. Refurição: também podemos fornecer aos clientes serviços de reforma e regeneração para produtos usados, o que pode reduzir os custos de compras para os clientes e ser mais amigável ao meio ambiente.
7. Controle de qualidade: temos medidas estritas de controle de qualidade em vigor para garantir a consistência e a confiabilidade de nossos produtos de anel de retentor CMP. Cada produto é inspecionado e testado antes do envio para garantir que atenda aos nossos altos padrões.
8. Serviço de clientes: Nossa equipe se dedica a fornecer atendimento e suporte excepcionais ao cliente. Trabalhamos em estreita colaboração com nossos clientes para entender suas necessidades e requisitos e nos esforçamos para exceder suas expectativas de todas as maneiras possíveis.
Normalmente, escolhemos dois plásticos especiais de engenharia: PPS e Peek para processar e produzir anéis de retenção de CMP.
O material PPS é caracterizado por alta resistência ao desgaste, boa resistência química e resistência ao solvente, além de boas propriedades de atrito, tipo de material limpo de alto sol, não contaminará a bolacha, em comparação com o anel fixo cmp de espona, o custo do anel fixo PPS cmp é Lower e formou uma cadeia industrial completa, com a família destaca o desempenho do custo.
O anel de retenção do CMP do PEEK tem um coeficiente de atrito mais alto, em comparação com o desempenho do atrito do anel de retenção do PPS CMP é mais excelente, tem uma resistência química mais abrangente e estável, uma faixa mais ampla de alta resistência à temperatura, de modo que o anel de retenção do CMP espalhado no longo O ambiente de usinagem de alta resistência a termo é mais estável, em tempo relativo, nas mesmas condições de trabalho, mais longas, mas o custo também será maior em comparação com alguns.